Silicide Technology for Integrated Circuits (Processing)
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9780863413520 - Lih J. Chen: Silicide Technology for Integrated Circuits
Lih J. Chen

Silicide Technology for Integrated Circuits

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ISBN: 9780863413520 bzw. 0863413528, in Englisch, Institution of Engineering and Technology, neu.

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This is the first book to provide guidance on the development and application of metal silicide technology as it emerges from the scientific to the prototype and manufacturing stages. Other key topics covered are fundamentals, present and future silicide technology for Si-based devices, and characterisation methods.
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9780863413520 - Chen, Lih J.: Silicide Technology for Integrated Circuits
Chen, Lih J.

Silicide Technology for Integrated Circuits

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9780863413520 - Lih J Chen: Silicide Technology for Integrated Circuits (Processing)
Lih J Chen

Silicide Technology for Integrated Circuits (Processing)

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