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Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden (Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen / Fachgruppe Elektrotechnik/Optik)100%: Höfflinger, Bernd: Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden (Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen / Fachgruppe Elektrotechnik/Optik) (ISBN: 9783531031330) 1982, Vs Verlag für Sozialwissenschaften, 1982. Ausgabe, in Deutsch, Taschenbuch.
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Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden100%: Bernd Höfflinger: Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden (ISBN: 9783322877062) Springer Nature, in Deutsch, auch als eBook.
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Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden (Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen / Fachgruppe Elektrotechnik/Optik)
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Bernd Höfflinger

Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

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Neuware - 1. Kurzfassung.- 2. Ausgangszielsetzung.- 3. Beschreibung der Teststrukturen.- 3.1 Layout.- 3.2 Technologie.- 3.2.1 p-Kanal Prozeß.- 3.2.2 n-Kanal Prozeß.- 3.2.3 CMOS-Prozeß.- 4. Angewandte Meßverfahren.- 4.1 Methoden zur Bestimmung der Minoritätsträgerlebensdauer.- 4.2 Messung der Sperrströme.- 4.3 Messung der spektralen Empfindlichkeit.- 5. Einfluß der Optimierungsmöglichkeiten.- 5.1. Dicke des als Antireflexionsschicht benutzten Oxids.- 5.2. Vergleich verschiedener implantierter Profile.- 5.3 Einfluß von Gettertechniken.- 5.4 Layouteinfluß.- 6. Vergleich der Fotodioden in p-Kanal, n-Kanal und CMOS-Technologie.- 6.1 Spektrale Empfindlichkeit.- 6.2 Sperrströme.- 6.3 Schaltzeiten.- 7. Literaturverzeichnis.- 8. Bildanhang. 42 pp. Deutsch.
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Höfflinger, Bernd

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