Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
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Günter Schumicki, Peter Seegebrecht, Assistant: N. Bündgens, Assistant: T. Evelbauer, Assistant: H. Fehling, Assistant: J.-H. Fock, Assistant: J. Frick, Assistant: R. Schneider, Assistant: B. Strycharczyk, Assistant: F. Zimmermann
Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen (Mikroelektronik) (German Edition) (1991)
DE USISBN: 9783540176701 bzw. 3540176705, in Deutsch, 500 Seiten, Springer, gebraucht.
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Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen. Perfect Paperback, Ausgabe: Softcover reprint of the original 1st ed. 1991, Label: Springer, Springer, Produktgruppe: Book, Publiziert: 1991-03-01, Freigegeben: 2013-10-04, Studio: Springer.
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Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen. Perfect Paperback, Ausgabe: Softcover reprint of the original 1st ed. 1991, Label: Springer, Springer, Produktgruppe: Book, Publiziert: 1991-03-01, Freigegeben: 2013-10-04, Studio: Springer.
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Prozeßtechnologie
DE NWISBN: 9783540176701 bzw. 3540176705, in Deutsch, Springer, Berlin/Heidelberg, Deutschland, neu.
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Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen, BProzesstechnologie/B behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluss daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozess für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen, BProzesstechnologie/B behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluss daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozess für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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Prozeßtechnologie
DE NWISBN: 9783540176701 bzw. 3540176705, in Deutsch, Springer, neu.
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Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen, BProzeßtechnologie/B behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen (Mikroelektronik) (2013)
DE PB USISBN: 9783540176701 bzw. 3540176705, in Deutsch, 520 Seiten, Springer, Taschenbuch, gebraucht.
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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
~DE NWISBN: 9783540176701 bzw. 3540176705, vermutlich in Deutsch, Springer, Berlin/Heidelberg, Deutschland, neu.
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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen.
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NEW Prozesstechnologie: Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen by P
DE NWISBN: 9783540176701 bzw. 3540176705, in Deutsch, Springer, Berlin/Heidelberg, Deutschland, neu.
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