UNTERSUCHUNGEN VON REINHEITSSYSTEMEN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERPRODUKTEN Vol. 281 of IPA-IAP Forschung und Praxis. ISBN 3-540-65560-3. Berlin, Springer 1999. 123 pages. With 64 illustrations. Paperbound.
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Schließer, Jochen

Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

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Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Danke schon fUr den groBen Rtickhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkamper danke ich fUr die wohlwollende Unter sttitzung und Fbrderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hbfflinger ftir die Durchsicht und Ubernahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. S. Mayer und cando mach. D. Limperich fUr die intensiven Fachgesprache, Kritik und Unterstiitzung. Einen besonderen Dank mochte ich auch den Herren Dr.-Ing. R. Kaun und Dipl.-Phys. U. Gommel ftir ihre ausdauernde Diskussions bereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.123 S. m. 64 Abb. 210 mmVersandfertig in 3-5 Tagen, Softcover.
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Schließer, Jochen

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Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Danke schon fUr den groBen Rtickhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr.-Ing. Dr. h.c. E. Westkamper danke ich fUr die wohlwollende Unter sttitzung und Fbrderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hbfflinger ftir die Durchsicht und Ubernahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr.-Ing. B. Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. mult. R.D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl.-Ing. S. Mayer und cando mach. D. Limperich fUr die intensiven Fachgesprache, Kritik und Unterstiitzung. Einen besonderen Dank mochte ich auch den Herren Dr.-Ing. R. Kaun und Dipl.-Phys. U. Gommel ftir ihre ausdauernde Diskussions bereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen.123 S. m. 64 Abb. 210 mmVersandfertig in 3-5 Tagen, Softcover.
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Jochen Schließer

Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten IPA-IAO - Forschung und Praxis German Edition

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Paperback. 123 pages. Dimensions: 8.3in. x 5.8in. x 0.3in.Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Als Danke schon fUr den groBen Rtickhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das Buch meiner Frau Helen, meinen Kinder Sammy und Kim sowie meinen Eltern. Herrn Professor Dr. -Ing. Dr. h. c. E. Westkamper danke ich fUr die wohlwollende Unter sttitzung und Fbrderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise Herrn Professor Dr. rer. nat. B. Hbfflinger ftir die Durchsicht und Ubernahme des Mitberichts. Ftir die Untersttitzung und konstruktive Diskussionen danke ich allen Kolleginnen und Kollegen. Hierbei gilt der Dank insbesondere Herrn Dr. -Ing. B. Klumpp, Herrn Dr. -Ing. M. Schweizer und Herrn Prof. Dr. -Ing. Dr. h. c. mult. R. D. Schraft. Ferner danke ich den Herren Dipl. -Ing. S. Mayer und cando mach. D. Limperich fUr die intensiven Fachgesprache, Kritik und Unterstiitzung. Einen besonderen Dank mochte ich auch den Herren Dr. -Ing. R. Kaun und Dipl. -Phys. U. Gommel ftir ihre ausdauernde Diskussions bereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes aussprechen. This item ships from multiple locations. Your book may arrive from Roseburg,OR, La Vergne,TN.
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